Презентация, доклад учебного проектаПрактическое применение и свойства химического травления

(металлов, сплавов, полупроводников и др. неорганических материалов) для очистки от окалины и др. поверхностных загрязнений, выявления дефектов структуры и двойников, определения кристаллографической ориентации, удаления нарушенных слоев, придания поверхности определенных свойств (полировка, шлифовка, загрубление, изменение характеристик), для повышения механической прочности изделий, для изготовления рельефа или деталей определенной формы, в частности в планарной технологии полупроводниковых приборов, при изготовлении резонаторов, частотных фильтров, химических сенсоров и т.п. Поэтому знание методики травления имеет практическое значение.

на пластинке

иногда сквозных узких каналов.

Поэтому избирательное травление монокристаллов связано с образованием фигур (ямок) травления, форма которых определяется структурой кристалла, ориентацией поверхности, видом дефектов и составом травителя, а количествово-плотностью дефектов.