Презентация, доклад Исследование процессов роста твердых растворов (SiC)1-x(AlN)x

Основные цели работы разработать новые методы получения карбида кремния и твердых растворов на его основе с помощью электронно-лучевой эпитаксииподобрать оптимальные условия для выращивания эпитаксиальных слоёв (SiC)1-x(AlN)x методами электронно-лучевой эпитаксии

Слайд 1Исследование процессов роста твердых растворов (SiC)1-x(AlN)x

Исследование процессов роста твердых растворов (SiC)1-x(AlN)x

Слайд 2Основные цели работы
разработать новые методы получения карбида кремния и твердых

растворов на его основе с помощью электронно-лучевой эпитаксии
подобрать оптимальные условия для выращивания эпитаксиальных слоёв (SiC)1-x(AlN)x методами электронно-лучевой эпитаксии
Основные цели работы разработать новые методы получения карбида кремния и твердых растворов на его основе с помощью

Слайд 3Установка электронно – лучевого нагрева УВН – РЭ

Установка электронно – лучевого нагрева УВН – РЭ

Слайд 4Схематическое изображение устройства для нагрева подложек
1 – катод; 2 –

пластина; 3 – анод; 4 – фольга для закрепления подложки; 5 – кольцо для концентрации тепла; 6 – диэлектрическое основание
Схематическое изображение устройства для нагрева подложек 1 – катод; 2 – пластина; 3 – анод; 4 –

Слайд 5Блок-схема установки для измерения спектров катодолюминесценции

1- колонна микроскопа ЭММА-2; 2

– кварцевая линза; 3- монохроматор МДР-2; 4 – фотоумножитель; 5 – импульсный усилитель; 6 – дискриминатор; 7 – измеритель скорости счета; 8 –самописец.
Блок-схема установки для измерения спектров катодолюминесценции 1- колонна микроскопа ЭММА-2; 2 – кварцевая линза; 3- монохроматор МДР-2;

Слайд 6Измерительный комплекс на базе АСМ «NTEGRA»

Измерительный комплекс на базе АСМ «NTEGRA»

Слайд 7Дифрактограмма от структуры 2H-(SiC)0,36(AlN)0,64/6H-SiC

Дифрактограмма от структуры  2H-(SiC)0,36(AlN)0,64/6H-SiC

Слайд 8Зависимость коэффициента поглощения пленок (SiC)1-x(AlN)x при х=0,21 (1) х=0,64 (2) от

энергии падающей волны
Зависимость коэффициента поглощения пленок (SiC)1-x(AlN)x при х=0,21 (1) х=0,64 (2) от энергии падающей волны

Слайд 9АСМ поверхности пленок (SiC)1-x(AlN)x при использовании составной мишени SiC+Al c соотношением

площадей 1 к 3

Температура выращивания (а)1000К,(b)1100К,(c)1350К

АСМ поверхности пленок (SiC)1-x(AlN)x при использовании составной мишени SiC+Al c соотношением площадей 1 к 3Температура выращивания (а)1000К,(b)1100К,(c)1350К

Слайд 10Благодарю за внимание!

Благодарю за внимание!

Что такое shareslide.ru?

Это сайт презентаций, где можно хранить и обмениваться своими презентациями, докладами, проектами, шаблонами в формате PowerPoint с другими пользователями. Мы помогаем школьникам, студентам, учителям, преподавателям хранить и обмениваться учебными материалами.


Для правообладателей

Яндекс.Метрика

Обратная связь

Email: Нажмите что бы посмотреть